净化车间的验收可以分为空态、静态和动态。完成验收阶段的检查应在空态或静态下进行，应由建设者、设计师和施工方协商确定，一般在空态下进行；功能验收阶段的检查应在静态下进行。
空态验收设施已经建成，所有动力都连接运行，但没有生产设备、材料和人员。净化工程测试项目:净化车间设备的完整性、安装质量、压差、气流特性、表面清洁度、维护结构的密封性能等。
静态验收设施已建成，生产设备已安装开始运行，无生产人员。净化车间检测项目:净化区域划分是否符合要求；确定自净时间参数；确定温度和湿度的稳定性；根据颗粒数量确定清洁等级；确定压差；确定照度；确定噪声等级；检查气流，检查通风次数。
动态验收设施已按规定状态运行，有规定人员在场，并在约定状态下进行。净化车间检测项目:验证洁净室分割系统；评估保持温度和相对湿度在规定范围内的能力；验证压差；检查洁净室运行文件的完整性；检查人员是否接受过培训。
净化车间竣工验收是净化车间在工程施工质量得到有效监控的情况下，通过整个工程分公司元生产负荷下的系统进行试运行、调试和外观质量检查，然后按规定将质量合格的分公司工程移交给业主的验收过程。净化车间工程关系到后期产品的质量。
